衬底温度对MOCVD法制备的Sb掺杂ZnO薄膜的光学和电学特性的影响

衬底温度对MOCVD法制备的Sb掺杂ZnO薄膜的光学和电学特性的影响，李硕石，程轶，采用金属有机物化学气相沉积（MOCVD）法，于不同衬底温度下在c面蓝宝石衬底上制备了Sb掺杂的ZnO薄膜,并对薄膜进行了X射线衍射(XRD),霍�