直流脉冲等离子体CVD制备碳氮薄膜的Ar离子原位应力抑制

直流脉冲等离子体CVD制备碳氮薄膜的Ar离子原位应力抑制，王琦，贺德衍，研究了不同Ar气流量下制备的含氢碳氮膜的结构和机械性能，并探讨了不同Ar气流量下对微结构和和相应机械性能的影响关系。实验发现�