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一般清洗技术 干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。它是硅片表面物理和化学两种过程平衡的结果。在半导体刻蚀工艺中,存在着两个极端:离子铣是一种纯物理刻蚀,可以做到各向异性刻蚀,但不能进行选择性刻蚀;
石灰石-石膏湿法烟气脱硫浆液pH值系统存在严重的非线性、滞后性及不确定性。基于混沌模拟粒子群优化算法(SAPSO)的神经网络PID控制器,优化神经网络结构和连接权值,以一定概率接受劣势解,保证算法从局
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V4编程器固件，mw300r,需用编程器写入,救砖！
PCS7系统在湿法烟气脱硫中的应用，董天源，，本文应用SIEMENS公司的PCS7控制系统开发平台,为国内某电厂2×300MW燃煤机组设计了石灰石/石膏湿法烟气脱硫控制系统。介绍了这套控制系�
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