MEMS振荡器也用于石英振荡器的放大器,也许还有PLL,但它采用的是振荡的小型硅质量,而不是石英晶体。这种方案有更好的MTBF(平均故障时间)、抗冲击性以及可靠性。例如,SiTime营销副总裁Piyush Sevalia说,对硅作JEDEC(联合电子器件工程委员会)与HTOL(高温工作寿命)测试,可得到5亿小时MTBF,而石英只有1000万至3000万小时,并且,尽管1kHz振动在石英振荡器的抖动特性中很容易表现出来,但MEMS和硅振荡器都对这种振动不敏感。MEMS器件谐振在一个基频上,这种模式下意外振动不会调制。但是,MEMS和石英振荡器的起动速度慢于纯硅振荡器。 制造MEMS振荡器的一个