10.6μm激光对钛、锆光学薄膜的损伤

jjhisoka 6 0 PDF 2021-02-23 12:02:21

本文报道了1.06μm 激光对TiO2、ZrO2和Ti3O5的单层膜和多层膜的损伤阈值和损伤形貌.研究了损伤阈值与膜厚、缺陷和保护膜之间的关系.