TiO2薄膜表面粗糙度对光学特性的影响

摘要：薄膜表面粗糙度是影响薄膜光学性能的一个重要指标，采用TaylorHobson表面廓仪对离子束辅助电子束热蒸发沉积的二氧化钛(TiOz)薄膜表面粗糙度进行了研究．采用偏仪通过选择不同的结构模型研究了不同基底粗糙度上沉积的TiOz薄膜的折射率和消光数．研究结果表明：0．3nm／s的沉积速率获得的Ti02薄膜表面粗糙度较小；在基底粗糙度小时，Ti02薄膜具有一定的平滑作用．通过减小基底的粗糙度和考虑混合模型，TiOz薄膜性有一定的提升，随着薄膜表面粗糙度的增加其折射率趋于2．08，消光系数趋于0．04．关键词：Ti02薄膜；表面粗糙度；光学常数；椭偏仪