正交试验优化PLD法制备ZnO:Al薄膜

正交试验优化PLD法制备ZnO:Al薄膜，李乾坤，王金斌，本文用脉冲激光沉积法(Pulsed Laser Deposition, PLD)在载玻片上制备了ZnO:Al(AZO)透明导电氧化物薄膜。引入正交试验优化薄膜制备参数，通过极�