基于溶液法对氧化铝薄膜MIS的性能研究

^_浮树林沉 15 0 PDF 2020-07-16 18:07:52

基于溶液法对氧化铝薄膜MIS的性能研究,都昊,宋贵才,以乙二醇单甲醚为溶剂,九水硝酸铝为前驱物,乙酰丙酮为螯合剂,采用溶胶-凝胶技术进行试验。对该技术制备的氧化铝薄膜厚度、透

基于溶液法对氧化铝薄膜MIS的性能研究

用户评论
请输入评论内容
评分:
暂无评论