两步法合成CuInS2薄膜及其性能研究

两步法合成CuInS2薄膜及其性能研究，刘伟，彭香艺，本文采用真空蒸镀法和喷雾热解法两步合成CuInS2（CIS）薄膜。先通过真空蒸镀制备出一定厚度的Cu薄膜，然后在Cu薄膜上喷雾热解InCl3和硫