双面接触式电容压力传感器的设计.pdf

sharon_JIAN 13 0 PDF 2020-07-24 03:07:56

双面接触式电容压力传感器的原理是基于单面接触式电容压力传感器而来的。其工作原理:当传感器的受压膜片(即梁)与基底距离很近

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