压阻式压力传感器及其应用电路设计
压阻式压力传感器及其应用电路,它采用集成电路 工艺, 结构简单, 测压上限可达到60M Pa, 具有 工作可靠、耐腐性、抗干扰能力强等特点, 国内 有些厂家利用美国生产的传感器芯片, 加上严 格的组装工艺, 其不确定度可达0104%FS 以 上, 在压力测量领域得到了较广泛的应用。
压阻式压力传感器及其应用电路,它采用集成电路 工艺, 结构简单, 测压上限可达到60M Pa, 具有 工作可靠、耐腐性、抗干扰能力强等特点, 国内 有些厂家利用美国生产的传感器芯片, 加上严 格的组装工艺, 其不确定度可达0104%FS 以 上, 在压力测量领域得到了较广泛的应用。