传感技术中的电容式与热式MEMS传感器的部分差异

设计工程师在开发重型装备的过程中通常需要在不同种类的加速度传感器中做出选择。例如,在起重机,拖拉机,木材切割机以及建筑工程等重型机械中,设计者需要通过使用加速度传感器来测量设备工作时的俯仰和翻滚角。 在多数应用中,他们通常会根据传感器的主要特性,比如结构,共振频率、可靠性、稳定性、带宽、功耗以及成本来作出选择。 对于电容式和热式MEMS传感器来说,两种技术最大的区别在于其不同的传感技术。 典型的双轴热式MEMS加速度传感器基于单芯片集成技术。传感器和控制电路的芯片被集成在一个气密性封装中。传感器包含一个通过硅刻蚀生成的空腔以及一组置于空腔中加热