电子测量中的光学点位瞄准器

Mark-42395 7 0 PDF 2020-11-17 12:11:47

光学点位瞄准器的工作原理如图所示,图中灯泡1发出的光经聚光镜2照明分划板3,分划板3上的十字线经反射镜5被物镜4成像于工件表面。由于工件表面的反射,十字线像将经棱镜6、转像镜7及棱镜8成像在分划板9上。图中8是直角屋脊棱镜,它起转折光路和转像作用。通过目镜10可以观察到十字线像。当显微镜与工件间距离准确时(正焦);目镜分划板上可看见一个清晰的十字线像。如果调焦不准确,则看到的是一个模糊的图像。借此可进行轴向调焦。这种轴向调焦方法测量精度较好,即使在工件表面倾斜70°情况下,分散值仍可保持在±1~3μm之间。光学点位瞄准方法可用来测量空间型面,如涡轮叶片、各种曲面以及软质表面等。它常被用做三坐标

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