一种新颖MEMS光开关测量平台的设计与实现

1 引言 随着光通信技术的迅速发展,MEMS光开关由于具有插入损耗和串话小、消光比高、稳定性好、透明性和可扩展性好、易于集成、偏振不灵敏等优点,将成为核心光交换器件的主流。其静电驱动是目前广泛研究的一种,常见的静电驱动方式有:梳状电极、SDA(scratch drive actuator)、悬臂驱动和扭臂驱动等。悬臂和扭臂驱动的驱动电压高 于前两者,但结构简单、工艺上容易实现。在选取其微反射镜最佳工作状态时,需要电压、频率,占空比连续可调的方波信号为激励源。传统的选取方法需要示波器、脉冲信号发生器,直流稳压源三台仪器协调工作才能完成,并且存在诸多弊端,如:测量仪器成本高、操作繁琐、测试周期长、