传感技术中的中国制造商征战新型传感器市场

MEMS传感器热点应用转向消费电子 “以往的MEMS传感器价格昂贵,一般用于军工、工控、仪器仪表等应用。通过多年的发展,其尺寸不断缩小,技术不断成熟,成本一再降低。目前MEMS传感器的热点应用市场将转变为民用产品市场。”青鸟元芯微系统科技有限公司的总经理张威如此评论MEMS的发展历程。青鸟元芯的MEMS传感器系列2004年实现量产,目前有MEMS压力传感器、湿度传感器、加速度传感器以及气体传感器系列产品。 青鸟元芯采用与国际同步的MEMS工艺和专用设计工具,产品具有高可换性及高可靠性等技术特点。其中,湿度传感器为高分子电阻型,具有耐高湿、量程宽、精度高等特点;压力传感器