表面波等离子体激励源设计

摘要:本文设计了频率及输出功率可调的表面波等离子体激励源, ADF4360-7产生850MHz~950MHz频率的振荡信号, ADL5330、两级功率放大器、AD8318和C8051F020控制输出功率。实现了表面波等离子体的激发。 关键词:表面波;等离子体;激励源 引言 利用微波在介质表面激发出截止密度以上的等离子体,然后微波在介质与等离子体间形成表面波的传输,具有一定电场强度的表面波在其传输的范围内可生成和维持高密度的等离子体,因此称为表面波等离子体。将微波导入一介质管,在介质管壁上激发出表面波传输,即可在管内生成表面波等离子体。 本文使用同轴激发器进行等离子体激发,其结构如图1所