大口径碳化硅非球面反射镜加工与检测技术

虽然非球面元件具有无比的优越性,但是大型非球面元件的加工和检测都要比球面困难得多,主要因为大多数的非球面元件只有一个对称轴,而球面却有无数条对称轴,所以,非球面元件不可以采用球面元件加工时的范成法原理进行加工。非球面元件上各点处的曲率半径不同,在进行抛光加工时,元件面形难以修正。非球面的检测也不像球面检测那样容易实现,如在干涉检验时,需要采用补偿元件,从而使得检测过程复杂并且费时。