一维相移剪切干涉仪的调制度函数分析

为了分析一维相移剪切干涉仪中调制度的变化规律和影响。研究了一维光栅相移剪切干涉仪的基本原理,推导了干涉光强公式和光强调制度函数。通过将泽尼克单项像差代入到调制度函数因子,分析了泽尼克像差、剪切比对调制度函数的影响,发现测量范围主要受到高级球差和大剪切比限制。设计了一维相移剪切干涉仪的可见光实验装置,在632.8 nm 波长分别使用周期为9 μm、18 μm 一维光栅测量了一个NA=0.25 显微物镜的波像差,实验结果表明:光栅周期为18 μm 时可以正确测量,光栅周期为9 μm 时,调制度存在反转点,像差超出测量范围,并验证调制度函数分析结果的正确性。