用于气体检测的声表面波振荡电路设计

1 引 言 近年来, 声表面波气体传感器发展迅速, 应用于多个领域, 具有良好的发展前景。由于SAW 传感器具有尺寸小、价格低、精度高、灵敏度高及分辨率高等优点, 因此产生了由声表面波器件、敏感薄膜和相关检测电路组成的SAW 气体传感器。敏感薄膜在吸附气体的过程中, 被测气体导致的应力作用于声表面波传输路径中的介质, 使其动力学特性发生改变, 进而改变声表面波器件的谐振频率。与之配套的检测电路测试出这个改变量, 从而得到待测气体的相关特性, 而检测电路的相关性能直接影响整个传感器的精度和准确度等技术指标。因此, 电路的设计在SAW 气体传感器中是一个至关重要的环节。 声表面波(