大口径高次非球面补偿检测方法的研究

大口径高次非球面的加工检测是光学制造的难题之一。结合一个有效通光口径为900 mm、顶点曲率半径为2580 mm的高次非球面凹反射镜,推导出高次非球面的球差系数。基于三级像差理论,对高次非球面的法线像差进行补偿,求解了补偿系统的初始结构。设计了基于球面波和平面波的补偿系统,并对高次非球面凹反射镜进行研磨处理,经四维(4D)干涉仪检测得到其面型精度为0.022λ,满足实际测量要求。