微波激励CO

提出一种放电结构和理论模型,对表面波发生器的表面波放电等离子体特性进行了分析。在给定的工作气压、注入微波功率及所吸收的外场功率情况下,利用这一理论可以求出放电管内电子密度、电子温度以及微波电场强度的绝对值和径向分布。分析表明,这种放电结构很适于CO2激光器高效率的微波激励。