激光非接触曲面面形传感器

提出一种用于空间自由曲面测量的激光非接触曲面面形传感器。该传感器结构简单,在光学原理上传感器的输出量与被测量成线性关系,接收物镜绕系统光轴360°接收目标面的漫射光,目标面的倾斜产生的影响很小,解决了困扰空间自由曲面测量中阴影效应、倾斜等问题。该传感器的测量范围为4 mm,分辨率为2μm,当目标面(漫反射面和金属等镜面反射面)倾斜角为±85°时,仍能保证20μm的测量精度。