2016或是涂布型氧化物半导体TFT量产元年

1. 前言 本文介绍亚洲的显示器国际会议“22th International Display Workshops(IDW ‘15)”上,关于氧化物半导体TFT的脱真空、脱光刻“绿色工艺”,以及TFT特性的主题演讲。过去,此类主题的演讲大都来自研究机构,这次还出现了厂商。所以估计不久就会应用于量产。另外,关于不使用光刻、溶剂不蒸发即可形成亚微米图案的技术“Nano-Rheology Printing(n-RP)”的演讲也吸引了众多目光。 2. 试制涂布型氧化物半导体TFT,性能良好 2.1 掌握关键的材料,制造装置厂商的反应趋于明朗 现在,氧化物半导体成膜使用的是溅射法。而德国的化