QMEMS陀螺仪结构及工作原理浅析

在谈EPSON陀螺仪之前,先让我们了解一下陀螺仪的原理和历史。 早 期的陀螺仪是一种机械装置,主要部分是一个对旋转轴以极高角速度旋转的转子,转子装在一支架内;在通过转子中心轴XX1上加一内环架,那么陀螺仪就可环绕 平面两轴作自由运动;然后,在内环架外加上一外环架;这个陀螺仪有两个平衡环,可以环绕平面三轴作自由运动,就是一个完整的陀螺仪。 图1:陀螺仪结构图 在 现在常见的智能手机、游戏手柄等设备里面的是微机械陀螺仪(MEMS陀螺仪),MEMS陀螺仪利用科里奥利力—旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。通 过给径向上的电容板