环氧树脂多模光波导的研制

以环氧树脂为材料,用简单、低成本的非接触式光刻法制作多模光波导。通过实验,找出一种可靠有效的有机溶剂作为显影剂及其相应的显影时间;并研究了温湿度和旋涂工艺对光波导厚度的影响;以及光刻掩模版透光部分宽度、光刻掩模版与下包层之间的间距、曝光光强和曝光时间对光波导宽度的影响。扫描电子显微镜(SEM)对样品形貌分析表明,脊形光波导表面光滑且侧壁笔直,光波导芯横截面约为50μm×50μm。采用cut-back法,测出环氧树脂多模光波导的传输损耗为0.1dB/cm@850nm。考虑到光电集成过程中对光波导的高温冲击,对样品进行了热稳定性试验,获得的最高稳定温度为210°C。