异质结构HgCdTe双色红外探测器短波长光响应的改进

集成的HgCdTe双色红外探测器阵列被制造出来,并测量了它们的光谱光响应。 顶部中波红外平面光电二极管通过选择性B +注入进行处理,底部短波红外PN同质结光电二极管在MBE生长期间通过铟杂质掺杂原位形成。 通过台面隔离,钝化和金属化制备了SWIR / MWIR HgCdTe的初步256×1线性焦平面阵列。 通过将实验工作与分析分析和数值模拟相结合,对与集成HgCdTe双色探测器共同使用的短波长窄效应的内部机理进行了详细研究。 在这项工作中表明,通过用异质结构短波长PN结代替同质结构短波长PN结,可以成功地缓解短波长窄效应,这大大提高了检测器的性能。 ? 2010 IOP出版有限公司