光干涉技术在纳米精度测量中的应用及发展

weixin_88369782 37 0 PDF 2019-05-31 22:05:58

分析了几种应用于纳米精度测量的光干涉技术工作原理、应用限制及研究现状,包括)射线干涉仪及激光外差干涉技术。

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