用于制造微电子器件的薄膜都是使用某种沉积技术形成的,该术语是指在基板上形成沉积物。在半导体器件制造中,以下沉积技术(及其常用的缩写)为:
利用脉宽为45 fs的超短脉冲强激光系统, 进行了强激光与微毛细管相互作用的初步实验研究。 成功地观测了超短强激光作用下不锈钢毛细管和玻璃毛细管的X射线谱, 获得了重复频率为10 Hz具有较好定向性的
设计了一种介质加载石墨烯等离子体波导,研究了不同结构尺寸的波导模场分布及传输特性。仿真结果表明,当石墨烯的化学势为0.7 eV、波导脊宽度和脊高度均为1000 nm时,介质加载石墨烯等离子体波导的模式
我们构造了IIB型超重力黑洞解决方案,该解决方案在全息上对各向异性等离子体产生了双重影响,这是由无限类的四维CFT引起的。 CFT对AdS 5×X 5是对偶的,其中X 5是爱因斯坦流形,并且变形涉及
暗物质(DM)可以通过光矢量介体耦合到标准模型(SM)中的粒子。 在小的耦合的限制下,此门户可能通过称为冻结的机制负责产生观察到的DM丰度。 此外,必需的DM-SM耦合器为DM的直接和间接搜索提供了具
T型表面等离子体分光器的研究,陈靖,陈宗强,提出了一种基于金属-绝缘体-金属(metal-insulator-metal,MIM)结构的T型表面等离子体分光器。该结构由一个T型波导和两个圆盘共振腔组成
CNG发动机等离子体助燃数值模拟,张梦圆,汪春梅,针对等离子体强化CNG发动机的CNG发动机等离子体助燃数值模拟燃烧特性,本文利用Chemkin软件多区模型,探究不同种等离子体和添加臭氧�
摘要:随着微电子工艺的发展,湿法清洗越来越局限,而干法清洗能够避免湿法清洗带来的环境污染,同时生产率也大大提高。等离子体清洗在干法清洗中优势明显,本文主要介绍了等离子体清洗的机理、类型、工艺特点以及在
本文详细介绍了如何实现激光等离子体电子密度分布的测量
我们提出了一个微观模型,用于高多重质子-质子碰撞中的集体效应,其中多个partonic次碰撞产生了密集的弦系统。通过晶格计算,我们知道QCD弦是横向延伸的,并且我们认为这会导致横向压力和膨胀,类似于无
