摘要:随着微电子工艺的发展,湿法清洗越来越局限,而干法清洗能够避免湿法清洗带来的环境污染,同时生产率也大大提高。等离子体清洗在干法清洗中优势明显,本文主要介绍了等离子体清洗的机理、类型、工艺特点以及在
本文详细介绍了如何实现激光等离子体电子密度分布的测量
我们提出了一个微观模型,用于高多重质子-质子碰撞中的集体效应,其中多个partonic次碰撞产生了密集的弦系统。通过晶格计算,我们知道QCD弦是横向延伸的,并且我们认为这会导致横向压力和膨胀,类似于无
报道了以固态CO2作为靶材的一种新型激光等离子体软X射线源,与常规金属靶激光等离子体软X射线源相比,它是一种低污染的光源,深入研究正在进行中。
本文报道一个新的激光与等离子体相互作用的宏观理论.根据宏观流体动力学的双流体模型,计算机数值模拟的结果表明,由于激光等离子体密度条纹的产生和衰减的周期性导致了入射激光反射率的周期性变化,说明激光与等离
为了研究和诊断箍缩聚变的聚爆靶高温等离子体内部的形状、分布及各种运动过程,基于晶体布拉格衍射,研制了新型球面弯曲晶体能谱成像系统。其核心元件是石英球面弯曲晶体(1010),弯曲半径为200 mm。在中
小型空心阴极等离子体电子枪实验
Kretschmann型激发表面等离子体共振(SPR)膜系结构是探针诱导表面等离子体共振耦合纳米光刻技术(PSPRN)的关键部分之一。采用多层介质的特性矩阵法计算膜系结构的透射系数和反射率,对PSPR
提出了一种在原子力显微镜(AFM)基础上设计的探针诱导表面等离子体共振纳米光刻(PSPRN)系统。此系统不但实现了探针的精确控制,而且由于系统本身具有AFM的全部功能,因此可以实时检测样品表面的形貌以
等离子体物理
