基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征

applepill 11 0 PDF 2020-05-15 21:05:18

基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征,马龙,郭彤,提出了一种基于carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合的白光相移干涉算法,该方法快速,准确,非接触,垂直分辨力可达亚纳米级。

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