双势阱静电波动的驻波共振和耦合共振

bond19541 16 0 PDF 2020-07-18 15:07:25

双势阱静电波动的驻波共振和耦合共振,牟宗信,牟晓东,非平衡磁控靶表面电场和磁场相互正交构成磁阱结构,磁控靶和与之平行的偏压基片之间形成了另一种势阱结构,等离子体静电波动在这

双势阱静电波动的驻波共振和耦合共振

用户评论
请输入评论内容
评分:
暂无评论