标准测试数据格式(STDF)文件的研究.pdf

介绍了半导体测试中的良率数据记录格式。阐述了标准测试数据格式 (STDF)的优 点以及结构。 给 出了将STDF用于半导体测试过程 中,以减少花 费、增加效率、缩短 良率提 升时间测试数据标准化的新思路。