本文报导了一台电晕预电离XeCl准分子激光器的实验研究, 输出最大脉冲激光能量超过250毫焦耳。研究了各种放电参数对输出激光能量的影响。
准分子激光器是脉冲式髙压气体激光器,它能发射各种不同的,特别是紫外光谱波段的波长。激光介质的上激光能级为电子受激朿缚态,而基态为排斥态或弱束缚态。
用小型准分子激光器制造微型零件
利用波长为248 nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS), 研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZ
研究了采用磁压缩器的XeCl准分子激光器特性。采用这种技术可将电流脉冲上升时间从200ns压缩到50ns,计算了电流脉冲的增幅和压缩现象,并解释了反向电流幅度减小的原因;给出了旁路电感对压缩效果的影响
较大口径、较长脉宽放电抽运准分子激光器是XeCl MOPA系统中的重要环节。介绍了一种双放电结构的X射线预电离激光器,在充电电压50 kV,气分比HCl:Xe:Ne=1:2.5:2000,气室气压3.
利用脉冲准分子激光(工作气体XeCl,波长308 nm,脉宽28 ns)在外延YBCOLaAlO3(100)单晶基片上淀积了Pb(Zr0.55Ti0.45)O3铁电薄膜,YBCO薄膜既为生长高取向PZ
提出了一种面向步进扫描投影光刻机的深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法。通过建立扫描曝光过程的抽象模型并分析准分子激光器单脉冲能量波动特性,提出采用闭环反馈控制进行实时调节,着重研究了抑制单脉冲能量超
本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.
研究了不同气氛下(空气、氧气和氮气)248 nm准分子激光辐照对ZnO薄膜光致发光谱和电学性质的影响;采用高斯线形对不同气氛下激光辐照ZnO薄膜的光致发光谱进行了拟合,并对位于3.31、3.28、3.
