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在准分子激光器已知的激发方式(横询放 电、光發浦、电子束、离子束和超高频 放电)中,最有趣的是超高频场泵浦方式。这是由于激活介质有可能全部吸收超高频功率,而且在大气压气体情况下高频放电具有高度的稳定性
本文报导了高功率、高效率紫外光预电离KrF(λ=248毫微米)准分子激光器的实验研究.输出最大脉冲能量超过420毫焦耳.研究了KrF激光器的激光谱和荧光谱特性以及在混合气体中掺入Ne气的影响.
光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研
在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效
报道了适用于大体积高气压短脉冲的准分子预电离脉冲X光源,着重对获得高强度快上升X光源的技术作了介绍,并给出其它性能的实验结果.
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本文报道了采用电阻分压器测量准分子激光器放电电压的实验结果.讨论了影响测量装置性能的各种因素和消除办法,并研究了器件的过压击穿形式及其变化规律.
一种称为层叠物制造法的新激光加工法可帮助生产用其他技术很难或根本不可能制造的零件。由芝加哥Hydronetics公司开发的这种加工法可制造内部有空洞和表面经雕刻或具有参量表面的零件,也可以制造具有错综
激光直接制造是一种全新的制造技术。采用Fe-Cr-B-Si-C 铁基合金粉末利用激光直接制造技术制备了单道激光熔覆层和薄壁圆筒零件。运用金相显微镜(OM)、X 射线能谱仪(EDX)、X 射线衍射(XR
介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征， 很有用的
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