在准分子激光器已知的激发方式(横询放 电、光發浦、电子束、离子束和超高频 放电)中,最有趣的是超高频场泵浦方式。这是由于激活介质有可能全部吸收超高频功率,而且在大气压气体情况下高频放电具有高度的稳定性和相当大的电子浓度为Ne=1014~10160 cm-3的激发体积。从泵浦能量传输和导入激活介质的观点来看,超高频脉冲有非常好的工艺性能,而且无电极放电能够使工作气体长时间保持清洁。