加拿大安大略州Lumonics公司的准分子激光器正用于标刻系统。该系统是这家公司的激光标刻机产品系列中新的改进型。激光标刻机的工作原理是:让一束激光通过一块模板,把模板的象聚焦在待标刻的物件上。聚焦光
在XeCl准分子激光引发Fe(CO)5光催化已烯-1异构化反应中,其主要反应产物为反式-已烯-2,并有少量的顺式-己烯-2.本文研究了产物得率与Fe(CO)5浓度的依赖关系.实验表明存在着非线性光化学
用准分子激光进行微加工
采用纵向气体放电激励,获得了XeCl激光作用。脉宽35毫微秒,最大能量317微焦耳,效率0.29%。
提出了一种模拟准分子激光光能量分布的方法。通过使用Matlab软件分析实际拍摄到的准分子激光光能量分布彩色图像并提取相关信息进行计算,使用光学软件Zemax模拟出实际的准分子激光的光能量分布。实际准分
目前正以越来越快的速度寻找新型激光器。事实上,这种过程似乎是交替出现的:当新波段开辟之后,新出现的应用就需要更多的波长及其它等等要求。
本文报道了采用电阻分压器测量准分子激光器放电电压的实验结果.讨论了影响测量装置性能的各种因素和消除办法,并研究了器件的过压击穿形式及其变化规律.
光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研
在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效
实验研究了在大体积紫外光预电离的TEACO2激光器中用工业纯Ar部分取代He时,不同Ar取代比分对放电稳定性,激光输出能量的影响以及掺入少量正三丙胺后使放电稳定性得到一定改善的结果。
