ArF准分子激光器的窄线宽可调谐运转及注入放大

在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效率提高了约50%,获得了平均30 mJ/脉冲的高光束质量的窄线宽可调谐激光,最大单脉冲能量>50 mJ,并进行了氧气的吸收光谱实验。