小型化电子束泵浦准分子激光器

本文采用平面剪切干涉仪测量了高气压横向流动准分子激光气体的流速。分析了放电能量使气体加热对激光输出的影响,均匀的横流技术使激光器在每秒16个脉冲频率下获得18W平均功率输出。

准分子激光器正在扎实地从实验室仪器发展成生产工具。美国Leitz-Image微系统公司近来推出一种定位标记激光光致烧蚀系统(ALPHA),专为自动去除覆盖硅晶片上定位标记的光致抗蚀剂材料而设计。最先进

本文报导紫外光预电离ArF和KrF准分子激光器的实验研究.输出激光能量ArF105毫焦耳、KrF185毫焦耳.文中讨论了各种参数对激光性能的影响.

能量稳定性极好的高功率准分子激光器

收稿日期:--

The experimental results on HgBrexcimer laser oscillation with corona preionization and transverse f

所属栏目:

叙述了用脉冲放电泵浦的(非化学)HF激光器进行的实验。激光放电是由冷阴极电子束枪维持的。获得了脉冲长度为2.6微秒时8千瓦/厘米2的输出功率。进行了与激光机理有关的几次观察。

加拿大安大略州Lumonics公司的准分子激光器正用于标刻系统。该系统是这家公司的激光标刻机产品系列中新的改进型。激光标刻机的工作原理是:让一束激光通过一块模板,把模板的象聚焦在待标刻的物件上。聚焦光

在XeCl准分子激光引发Fe(CO)5光催化已烯-1异构化反应中,其主要反应产物为反式-已烯-2,并有少量的顺式-己烯-2.本文研究了产物得率与Fe(CO)5浓度的依赖关系.实验表明存在着非线性光化学