制造处为准分子激光器寻找又一用途

准分子激光器正在扎实地从实验室仪器发展成生产工具。美国Leitz-Image微系统公司近来推出一种定位标记激光光致烧蚀系统(ALPHA),专为自动去除覆盖硅晶片上定位标记的光致抗蚀剂材料而设计。最先进的光刻系统使用这些标记在曝光之前获得的定位精度为0.25到0.35微米。这种较高的精度还能改善。