脉冲准分子激光沉积AlN薄膜的研究

用Q开关YAG激光器的1.06 μm的脉冲激光在硅及玻璃衬底上沉积了氮化硼薄膜。做了SEM,XRD,红外透射谱和紫外一可见透射谱等测试。确认为六方氮化硼(h-BN)薄膜.并测出其禁带宽度、晶格常数等。

本文报道了一台使用UV自动预电离,C-C转移放电泵浦的XeCl准分子激光器,并且以激光器放电信号和输出激光信号的同时测量结果为依据,分析了激光器放电的能量沉积过程.可为设计同类型准分子激光器提供一些参

情性气体卤素准分子激光器于1976年第一次问世之后,达到了相当高的水平,成为强有力的紫外光源。其特点是:从远紫外到红外范围内都有发射谱线,能量和输出功率都很高。高速气体循环使重复率超过100赫,导致紫

从70年代开始作为可见和紫外波段有效辐射源的准分子激光器普及性就在增长。在准分子激光器中,KrF*、XeCl等惰性气体的卤化物激光器有最高特性。目前继续提高输入介质的能量是个艰难任务,因此,依靠混合气

报道了一种改进电晕预电离结构的小型XeCl准分子激光器的工作参数和寿命的研究结果.

本文报导改进的193毫微米ArF准分子激光器,单脉冲输出激光能量超过200毫焦耳。详细地研究了紫外光预电离对输出性能的影响。

采用光束均匀器,改善XeCl准分子激光器输出光束强度的分布,其起伏优于2%,用这一装置测量了C60薄膜的刻蚀阈值,并完成了准分子激光改变C60薄膜电导率的实验研究。

设计制作了一套反转剪切干涉仪,测量了KrF准分子激光的空间相干性。用这种方法,能够一次测量激光的空间相干度,并且在不用条纹相机的条件下能够实时测量相干度随时间的变化过程。在有注入、无注入锁定及在非稳腔

西德Lambda Physik公司为美国喷气推进实验室的桌山激光雷达设施安装了一台100瓦的窄带准分子激光器。这种脉冲式EMG 160T MSC型激光器运转波长为307.9纳米,其能量可放大到700毫

大电流、大能量电子束源的研制,给新型大功率气体激光器的研制要重的影响。现在,千安培和兆伏量级的电子束已能得到。以这些强电子束,就有可能迅速泵浦高压气体从而克服在制造大功率真空紫外激光器中一度出现的不可