光雷达采用100瓦准分子激光器
用户评论
推荐下载
-
基于Zemax软件的准分子激光模拟
提出了一种模拟准分子激光光能量分布的方法。通过使用Matlab软件分析实际拍摄到的准分子激光光能量分布彩色图像并提取相关信息进行计算,使用光学软件Zemax模拟出实际的准分子激光的光能量分布。实际准分
10 2021-02-17 -
XeCl准分子激光光束均匀器及其应用
采用光束均匀器,改善XeCl准分子激光器输出光束强度的分布,其起伏优于2%,用这一装置测量了C60薄膜的刻蚀阈值,并完成了准分子激光改变C60薄膜电导率的实验研究。
8 2021-04-18 -
快放电激励准分子激光器的过压击穿及其测量装置
本文报道了采用电阻分压器测量准分子激光器放电电压的实验结果.讨论了影响测量装置性能的各种因素和消除办法,并研究了器件的过压击穿形式及其变化规律.
4 2021-02-08 -
基于强化学习的准分子激光器能量控制算法研究
光刻用准分子激光器的能量特性在集成电路的光刻过程中至关重要,直接影响光刻机曝光线条的精度。为了实现对于衡量能量特性的能量稳定性和剂量精度的精确控制,从放电电压调节的角度对激光脉冲的能量特性控制进行了研
5 2021-02-24 -
ArF准分子激光器的窄线宽可调谐运转及注入放大
在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效
7 2021-02-21 -
用于大体积短脉冲准分子激光器的预电离X光源
报道了适用于大体积高气压短脉冲的准分子预电离脉冲X光源,着重对获得高强度快上升X光源的技术作了介绍,并给出其它性能的实验结果.
3 2021-02-21 -
大体积X光预电离XeCl准分子激光的参量研究
实验研究了大体积XcCl准分子激光的特性,包括X光预电离均匀性的改进,非稳定共振腔输出.获得最大单脉冲能量为1.6J.
18 2021-02-09 -
可调超高光谱亮度KrF准分子激光源
本文介绍一种光谱亮度极高的KrF*(248亳微米)准分子激光源。这种仪器把整个增益分布内的连续可调谐性与输出脉冲的以下特性结合在一起,它们是:脉冲能量~60亳焦耳,脉冲持续时间~10亳微秒,光谱宽度1
7 2021-02-08 -
准分子激光直接刻蚀单晶硅研究
介绍了准分子激光刻蚀单晶硅的流程和表征, 很有用的
13 2020-07-17 -
脉冲准分子激光沉积AlN薄膜的研究
采用ArF脉冲准分子激光沉积法并结合退火后处理工艺,在Si(111)衬底上成功地制备了AlN晶态薄膜。X射线衍射、扩展电阻与原子力显微镜等测试结果表明:薄膜具有(101)取向,平均晶粒大小为200 n
13 2021-04-07
暂无评论