XeCl准分子激光光束均匀器及其应用
采用光束均匀器,改善XeCl准分子激光器输出光束强度的分布,其起伏优于2%,用这一装置测量了C60薄膜的刻蚀阈值,并完成了准分子激光改变C60薄膜电导率的实验研究。
采用光束均匀器,改善XeCl准分子激光器输出光束强度的分布,其起伏优于2%,用这一装置测量了C60薄膜的刻蚀阈值,并完成了准分子激光改变C60薄膜电导率的实验研究。