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本文报道一台新颖的双通道放电泵浦的准分子激光器,采用折叠式光路构成一个较长的激光腔(2m),同时适当拉长放电时间,获得了150ns、150mJ的激光输出。
由于美国GCA公司集成电路系统组采用4600 L型图形发生器,使激光进一步“侵入”半导体生产工艺。这种系统弥补了紫外弧光灯和电子束系统的缺陷,可望比紫外弧光灯速度快得多,而比电子束系统便宜得多。
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靶面焦斑合束数值模拟研究可为准分子激光角多路系统建设提供重要参考。首先介绍了靶面激光焦斑合束的计算方法,进而基于单束激光焦斑形态和光束指向稳定性开展了18束准分子激光靶面合束计算,给出了合束焦斑的形态
用准分子激光光刻的下一代集成电路
Laser oscillations of 11 vibrational bands of the XeCl excimer at about 308 nm are obtained from a s
采用飞秒激光扫描P型单晶硅衬底上的碲单质膜层,实现了碲元素在硅中的N型掺杂,随后利用准分子激光对掺杂样品进行退火处理,制备了碲掺杂硅单晶材料。利用该材料研制出了在室温下具有高响应的碲掺杂硅探测器。在-
本文报道XeCl准分子激光器泵浦若丹明640乙醇溶液可调激光染料的实验结果,调谐激光线宽为0.011nm,调谐范围为603到646nm.
而采用准分子激光剥离设备去除蓝宝石则是一种有效的工艺手段,在新一代高亮LED芯片的制备中,将会成为不可或缺的关键技术。
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