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以准分子激光生产微型芯片
用准分子激光进行微加工
七十年代中期,准分子激光以新体系、新波长为主要研究目标,使它成为新型气体激光器的一个重要分支。近年来,准分子激光的发展在于大功率、高重复率、改变脉冲时间等方面,与此同时,继续发展新的泵浦技术和新的体系
罗瑟福·阿普耳顿实验室的R. A.劳斯在去年10月1日到3日于英国伯明翰召开的85年国际半导体会议的一份报告中说:光刻设备利用准分子激光,可望提供X射线光刻的大部分优势,而避免其许多缺点。
本文采用二维CCD列阵检测准分子激光的光束特性。研究了长时间运转下,光束的均匀性和光束重心的漂移。并讨论了它们与放电稳定性之间的关系。
研究了XeCl准分子激光在铅蒸气中的喇曼散射的输出能量及转换效率的参数依赖关系,得到能量~120mJ、峰值功率~2MW的喇曼光输出脉冲.观察到喇曼光脉冲波形上的多峰结构,并将其归因于喇曼散射中的合作效
提出了在静态重复率泵浦的准分子激光器中的放电气体热膨胀模型。计算结果表明,这种热效应对激光输出平均功率与光束特性有不可忽视的影响。
准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求。采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸流管进行高压快速放电,激光器可在
目前正以越来越快的速度寻找新型激光器。事实上,这种过程似乎是交替出现的:当新波段开辟之后,新出现的应用就需要更多的波长及其它等等要求。
电子束抽运的高功率大孔径准分子激光器
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