暂无评论
本文报道XeCl准分子激光器泵浦若丹明640乙醇溶液可调激光染料的实验结果,调谐激光线宽为0.011nm,调谐范围为603到646nm.
准分子激光绝对波长校准技术中, 参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素, 寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实验研究比较了5种寻峰算法, 结果显示, 高斯非线性曲线拟合寻峰法误差最小,
提出了在静态重复率泵浦的准分子激光器中的放电气体热膨胀模型。计算结果表明,这种热效应对激光输出平均功率与光束特性有不可忽视的影响。
本文报导了一台电晕预电离XeCl准分子激光器的实验研究, 输出最大脉冲激光能量超过250毫焦耳。研究了各种放电参数对输出激光能量的影响。
本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.
面向光印刷互连背板的应用需求,提出基于准分子激光消融原理对光波导的刻蚀技术进行研究,在背板上任意位置获得光波导端面实现光耦合。采用193 nm 波长的准分子激光作为光源,通过方形掩模孔径投影在互连背板
提出了一种面向步进扫描投影光刻机的深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法。通过建立扫描曝光过程的抽象模型并分析准分子激光器单脉冲能量波动特性,提出采用闭环反馈控制进行实时调节,着重研究了抑制单脉冲能量超
利用脉冲准分子激光(工作气体XeCl,波长308 nm,脉宽28 ns)在外延YBCOLaAlO3(100)单晶基片上淀积了Pb(Zr0.55Ti0.45)O3铁电薄膜,YBCO薄膜既为生长高取向PZ
研究了采用磁压缩器的XeCl准分子激光器特性。采用这种技术可将电流脉冲上升时间从200ns压缩到50ns,计算了电流脉冲的增幅和压缩现象,并解释了反向电流幅度减小的原因;给出了旁路电感对压缩效果的影响
利用波长为248 nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS), 研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZ
暂无评论