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Laser oscillations of 11 vibrational bands of the XeCl excimer at about 308 nm are obtained from a s
采用飞秒激光扫描P型单晶硅衬底上的碲单质膜层,实现了碲元素在硅中的N型掺杂,随后利用准分子激光对掺杂样品进行退火处理,制备了碲掺杂硅单晶材料。利用该材料研制出了在室温下具有高响应的碲掺杂硅探测器。在-
本文报道XeCl准分子激光器泵浦若丹明640乙醇溶液可调激光染料的实验结果,调谐激光线宽为0.011nm,调谐范围为603到646nm.
而采用准分子激光剥离设备去除蓝宝石则是一种有效的工艺手段,在新一代高亮LED芯片的制备中,将会成为不可或缺的关键技术。
准分子激光绝对波长校准技术中, 参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素, 寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实验研究比较了5种寻峰算法, 结果显示, 高斯非线性曲线拟合寻峰法误差最小,
提出了在静态重复率泵浦的准分子激光器中的放电气体热膨胀模型。计算结果表明,这种热效应对激光输出平均功率与光束特性有不可忽视的影响。
本文报导了一台电晕预电离XeCl准分子激光器的实验研究, 输出最大脉冲激光能量超过250毫焦耳。研究了各种放电参数对输出激光能量的影响。
本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.
提出了一种面向步进扫描投影光刻机的深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法。通过建立扫描曝光过程的抽象模型并分析准分子激光器单脉冲能量波动特性,提出采用闭环反馈控制进行实时调节,着重研究了抑制单脉冲能量超
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