用准分子激光进行微加工

wangwei86679 7 0 PDF 2021-02-23 20:02:16

用准分子激光进行微加工

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由于美国GCA公司集成电路系统组采用4600 L型图形发生器,使激光进一步“侵入”半导体生产工艺。这种系统弥补了紫外弧光灯和电子束系统的缺陷,可望比紫外弧光灯速度快得多,而比电子束系统便宜得多。

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报道了使用XeCl准分子激光(308 nm)照射兔前列腺标本。观察了在不同频率、不同介质等条件下对离体免前列腺组织的消融效果,测得损伤阈值为400 mJ/cm2。结果表明,准分子激光具有消融效果高、对

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Laser oscillations of 11 vibrational bands of the XeCl excimer at about 308 nm are obtained from a s

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