大电流、大能量电子束源的研制,给新型大功率气体激光器的研制要重的影响。现在,千安培和兆伏量级的电子束已能得到。以这些强电子束,就有可能迅速泵浦高压气体从而克服在制造大功率真空紫外激光器中一度出现的不可克服的困难。