氢对XeCl*准分子激光器特性的影响

从70年代开始作为可见和紫外波段有效辐射源的准分子激光器普及性就在增长。在准分子激光器中,KrF*、XeCl等惰性气体的卤化物激光器有最高特性。目前继续提高输入介质的能量是个艰难任务,因此,依靠混合气体成分最佳化来改善准分子激光器的特性有很大的意义。