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在一台快放电泵浦的ArF准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件,用组合输出镜获得了线宽小于0.1 nm,调谐范围~1 nm的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级,注入后放大级效
本文报道了采用电阻分压器测量准分子激光器放电电压的实验结果.讨论了影响测量装置性能的各种因素和消除办法,并研究了器件的过压击穿形式及其变化规律.
到目前为止,具有较高功率和高效率的激光器仅存在于红外和紫外波段。CO2激光器(λ=248 nm)的效率达到30%,KrF激光器(λ=248 nm)的效率为15%。在可见光波段 (400~700 nm)
用于制作光纤布拉格光栅的工业准分子激光器的优化
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87年3月于美国加州圣·克拉拉光学仪器工程师协会召开的微型光刻术中的激光会议上 重要的事件是,GCA公司宣布了第一个分辨率为0.5纳米的基于准分子激光器的印刷系统将在1987年第二季度推出。这次会议还
美国宇航局戈达德空间中心研究人员正利用臭氧层吸收XeCl准分子激光辐射的特点来监测地球臭氧保护层消耗的情况。
测量在空气和真空中308 nm准分子激光对C60薄膜的刻蚀速率和刻蚀阈值,讨论了环境中氧气对刻蚀特性的影响。
用XeCl准分子激光在空气、生理盐水和血液中对离体猪心脏进行了心肌消融.实验表明,以光化学分解为主体的有热效应和机械压力效应是心肌消融的主要机制.
比较分析四种微加工工艺的基本特征和技术难点,简述准分子激光与Nd∶YAG激光微制造技术的特点和应用范围。结合华中科技大学准分子激光微制造工作站的建设及其在微钻孔、微切割等方面的实际应用,分析准分子激光
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